不容錯過！MEMS之父等多位大神對2022年傳感器產業(yè)這樣看
更新時間：2025-02-27 點擊次數(shù)：82次
佳傳感器獎“Best of Sensors Awards"的主辦方之一，的電子科技媒體Fierce Electronics近日邀請了多位業(yè)內專家大神討論了2022年傳感器&MEMS產業(yè)的動向。
這些專家大神有MEMS之父、MEMS技術奠基人庫爾特?彼得森（Kurt Petersen）、中國MEMS廠商罕王微電子CEO黃向向女士、新銳MEMS揚聲器制造商USound CEO Ferruccio Bottoni；MEMS醫(yī)療診斷系統(tǒng)制造商Exo Systems的CEO Janusz Bryzek博士等。
這些專家來自中國、德國、奧地利和美國，擁有豐富的產業(yè)經驗和專業(yè)知識，代表了MEMS&傳感器市場從器件/系統(tǒng)設計、晶圓制造基礎設施、行業(yè)協(xié)會到市場咨詢的眾多視角。
2021年度佳傳感器獎情況請查看《2021年度佳傳感器獎揭曉！中國傳感器獲獎并打破世界紀錄》。
Kurt Petersen博士是MEMS之父，MEMS技術的奠基人，獲得2019年 IEEE榮譽勛章，對推動MEMS產業(yè)發(fā)展發(fā)揮了巨大的作用。其經歷可參看《沒有他，你現(xiàn)在還用不上MEMS傳感器》內容。
過去 5 年內才剛剛商業(yè)化的重要新工藝，就將革命性地改變下一代 MEMS 產品的開發(fā)。如今，高可靠性、可大批量生產的壓電薄膜（AIN 和 PZT）已在許多代工廠中全面商用。這些材料已被用于麥克風 (Vesper)、代 MEMS 揚聲器 (USound) 和超聲波成像器（eXo 和 Butterfly Networks）。
然而，這只是新型壓電驅動器件的波浪潮，它們代表了最新型的 MEMS 產品系列。玻璃晶圓的新生產工藝也將發(fā)生變革——這甚至可能是我們對 MEMS 的定義。超高密度玻璃通孔（TGV）、玻璃-玻璃晶圓級鍵合和玻璃晶圓級光學器件現(xiàn)已上市，只是產量有限。使用超高密度玻璃通孔（TGV）和玻璃-玻璃晶圓級鍵合的工藝，Menlo Micro 正在生產一代的 MEMS 開關，或許是個真正取得成功的 MEMS 開關產品。更重要的是，這些產品的材料全部是玻璃，沒有硅基材料，這是MEMS 技術的重要突破！其他將在未來幾年產生巨大影響的新工藝是超薄基板（小于 50 微米）、現(xiàn)已超過 50 微米/分鐘蝕刻速率的深反應離子蝕刻（DRIE），以及SiTime諧振器的epi-seal工藝的未來應用。現(xiàn)在正是利用 MEMS 工藝能力不斷提高，去發(fā)明新的 MEMS 產品并將其商業(yè)化的好時機！過去一年，MEMS 和 集成電路（IC）的供應鏈都出現(xiàn)了芯片短缺，這將推動 MEMS 代工業(yè)務的投資和增長。在疫情被控制之前，中國的 MEMS 代工業(yè)務已經從 4英寸（100毫米）和 6英寸（150毫米） MEMS 產線以及 CMOS（互補金屬氧化物半導體）表面微加工轉移到8英寸（ 200毫米） MEMS 產線。有幾種不同的 MEMS 基礎工藝技術，例如電容、壓阻、磁和壓電工藝。為了適應這一系列的工藝，代工廠必須靈活滿足客戶的廣泛要求。金、鈧、鋯等材料以及與 CMOS 代工廠不兼容的工藝都可以在專用的 MEMS 產線中制造。這種方案可以利用新技術和材料大批量制造消費應用產品，如壓電、紅外傳感器和執(zhí)行器等。具有工藝設計套件（PDK）和開發(fā)工藝的一站式解決方案受到及中國客戶的青睞，罕王微電子提供設計-制造-組裝服務。我們觀察到許多代工客戶希望擴大中國本土晶圓廠的生產能力，以應對 2022 年及以后的本地晶圓需求。在過去的二十年里，薄膜壓電材料的性能顯著提高，及與晶圓制造工藝的配合，大大提高了超聲波傳輸效率和接收靈敏度。因此出現(xiàn)了多種消費者應用，包括噴墨打印機、手勢識別、揚聲器、自動對焦模塊、指紋傳感器、飛行時間傳感器（ToF）等。2022 年超聲波換能器市場估計約為 47 億美元，每年增長率約為 5.1%。這個市場需要廣泛的技術支撐，譬如的超聲波換能器技術是壓電MEMS超聲波換能器 (pMUT)，它基于硅 MEMS 晶片上沉積的壓電層，該工藝保留了傳統(tǒng)分立換能器的優(yōu)勢，并具有集成優(yōu)勢。
對我來說，壓電MEMS超聲波換能器 (pMUT)價值的應用是醫(yī)療，將有助于為所有人帶來豐富的醫(yī)療保健。我的公司 Exo Imaging 將于 2022 年推出臺基于壓電MEMS超聲波換能器 (pMUT)的手持式超聲成像儀，成為醫(yī)療市場具有變革意義的產品。最初將支持約 5000 萬醫(yī)療專業(yè)人員，隨著時間的推移將覆蓋 10 億消費者。2022年，疫情將繼續(xù)對傳感器和MEMS行業(yè)產生雙重影響。一方面，由于遠程工作和出行受限等日常生活的變化，疫情推動了特定技術在工作和私人生活中的應用，這些應用包括各種可穿戴設備、通信和電信設備、健康管理設備，以及遠程醫(yī)療。這些改變造成的結果，將對含有傳感器和 MEMS 技術的產品和設備帶來積極推動作用。
另一方面，對于新開發(fā)的產品和應用，由于疫情而推遲、取消或凍結了產品的開發(fā)和供應鏈，從而對該產品的商業(yè)化造成了巨大的障礙，這將對推向市場產生不利影響，正如在2021 年許多傳感器及MEMS廠商面臨的情況。面向世界的新產品和創(chuàng)新將越來越難以商業(yè)化，而對現(xiàn)有產品的升級或改進，如推出新版本，將迎來繁榮的市場。 大流行的直接和間接影響也沉重打擊了柔性和印刷電子行業(yè)，因為國際供應鏈在 2022 年將不能順利運行。但另一方面，疫情大流行促進了對監(jiān)測重要功能的醫(yī)療設備的需求增加，這推動了柔性和印刷傳感器的市場，因為印刷傳感器與智能貼片無縫集成，并與印刷電池相結合，佩戴起來簡單舒適。這種智能傳感貼片可以監(jiān)測體溫、呼吸和心率，甚至可以監(jiān)測血氧水平。連接到移動設備后，該技術可實現(xiàn)遠程患者監(jiān)測，并減輕醫(yī)院工作人員的常規(guī)測量工作。這種方法已在去年的幾個試點項目中進行了測試，主要的醫(yī)療技術公司目前正在準備商業(yè)化的產品。在拉斯維加斯舉行的 2022 年國際消費電子展（CES）上也可以看到印刷傳感器和設備在醫(yī)療和制藥行業(yè)上日益重要的作用。印刷電子產品的另一個主要市場是汽車應用。在這里，我們看到許多印刷電子傳感器產品的發(fā)布，將印刷觸摸傳感器集成在塑料覆層中，例如集成于汽車內飾中的中控臺。機械開關被薄而輕的印刷電子設備所取代，如的例子是大眾汽車 ID 系列車型中的開關鍵和人機互動界面（HMI），或在 CES 2022 上推出的 寶馬 iX 系列車型的中控臺。從市場規(guī)模和增長的角度來看，一些長期關注傳感器/MEMS 市場的研究機構估計，到 2022 年，傳感器市場規(guī)模約為 1900 億美元，且未來幾年的年增長率約為 10%。我相信這幾個應用領域將這一增長，這些傳感器應用領域包括物聯(lián)網、電子健康監(jiān)測、可穿戴設備（尤其是印刷/柔性傳感器）和汽車電子。汽車電子將受益于自動駕駛和電動汽車的增長以及氫能發(fā)電機的開始運用，這樣每輛車都將需要更多的傳感器。除此之外，我還看到用于環(huán)境監(jiān)測、農業(yè)和智能家居應用的傳感器有所增加。從營銷/銷售戰(zhàn)略的角度來看，我預計疫情將持續(xù)到 2022 年中期，這將對 2022 年和近期的貿易、展覽的出席率產生顯著的負面影響（但在什么水平？）。2022 年 1 月的國際消費電子展（CES）是美國貿易展會的重頭戲，其參加人數(shù)約為 40,000 人，而 2020 年為 170,000 人。Sensors Converge 于 2021 年 9 月接待了大約 2,000 人，而通常為 6,000 人。我參加了 2021 年的許多線上虛擬和線上/線下混合的會議并發(fā)表了演講，我相信這類會議將在 2022 年繼續(xù)在傳感器/MEMS 公司的營銷互動中發(fā)揮重要作用。我預計許多會議都將以線上線下結合的模式舉辦，或將這些活動重新安排到 2022 年晚些時候。此外，社交媒體——尤其是互動型網站、電子郵件活動和視頻平臺——將在這些公司的營銷/銷售策略中，扮演越來越重要的角色。可以說，盡管疫情可能會持續(xù)到 2022 年晚些時候，我和我的專家團隊們仍然充滿希望，并相信傳感器&MEMS 行業(yè)將繼續(xù)增長和繁榮。盡管存在著預期的挑戰(zhàn)，包括供應鏈、勞動力供應和包括展會在內的營銷工具的減少，但在2021 年似乎有幾項新技術和應用以及替代營銷方法在不斷完善，這些將繼續(xù)推動傳感器/MEMS 行業(yè)向前發(fā)展，產生超過 10% 的增長，預計2022 年銷售水平將達到 1900 億美元。許多公司已經能夠充分利用疫情為他們提供的機會，特別是在由 壓電MEMS超聲波換能器 (pMUT) 和印刷/柔性傳感器等新興技術支撐的醫(yī)療診斷領域，我預計這種現(xiàn)象將持續(xù)到 2022 年。傳感器/MEMS廠商的發(fā)展戰(zhàn)略是堅持到底，繼續(xù)保持生命力，并沿用 2021 年取得成功的戰(zhàn)略，利用吸取的經驗教訓對其進行微調，以適應瞬息萬變的2022 年市場新常態(tài)。
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